目前廢氣處理設(shè)備對(duì)低溫等離子體的作用機(jī)理研究以為是粒子非彈性碰撞的結(jié)果。一方面打開了氣體分子鍵，天生一些單分子和固體微粒；另一力生．OH、H2O2．等自由基和氧化性極強(qiáng)的O3，在這一過程中高能電子起決定性作用，離子的熱運(yùn)動(dòng)只有副作用。光催化氧化可在室溫下將水、空氣和泥土中有機(jī)污染物完全氧化成無毒無害的產(chǎn)物，而傳統(tǒng)的高溫焚燒技術(shù)則需要在極高的溫度下才可將污染物摧毀，即使用常規(guī)的催化、氧化方法亦需要幾百度的高溫。合用范圍：水溶性、有組織排放源的惡臭氣體。其中高溫等離子體的電離度接近1，各種粒子溫度幾乎相同系處于熱力學(xué)平衡狀態(tài)，它主要應(yīng)用在受控?zé)岷朔磻?yīng)研究方面。長處：工藝簡樸，治理利便，設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)用度低產(chǎn)生二次污染，需對(duì)洗滌液進(jìn)行處理。缺點(diǎn)：受到曝氣強(qiáng)度的限制，該法的應(yīng)用還有一定局限。 

等離子體就是處于電離狀態(tài)的氣體，低溫等離富含電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子，其中高能電子與氣體分子（原子）發(fā)生撞，將能量轉(zhuǎn)換成基態(tài)分子（原子）的內(nèi)能，發(fā)生激發(fā)、離解和電離等一系列過秸處于活化狀態(tài)。這為廢氣處理設(shè)備一些需要很大活化能的反應(yīng)如大氣中難降解污染物的去除提供了另外也可以對(duì)低濃度、高流速、大風(fēng)量的含揮發(fā)性有機(jī)污染物和含硫類污染物等進(jìn)行處理。缺點(diǎn)：凈化效率低，應(yīng)與其他技術(shù)聯(lián)合使用，對(duì)硫醇，脂肪酸等處理效果差。 

原理：廢氣處理設(shè)備將惡臭物質(zhì)以曝氣形式分散到含活性污泥的混和液中，通過懸浮生長的微生物降解惡臭物質(zhì)合用范圍廣。其中電子溫度(?Te)≥離子溫度(Ti)，可達(dá)104K以上，而其離子和中性粒子的溫度卻可低到300～500K。被吸附的氣體組分稱為吸附質(zhì)，多孔固體物質(zhì)稱為吸附劑。而低溫等離子體則學(xué)非平衡狀態(tài)，各種粒子溫度并不相同。 

產(chǎn)業(yè)有機(jī)廢氣的低溫等離子體的管理設(shè)備燃燒法用于處理高濃度Voc與有惡臭的化合物很有效，其原理是用過量的空氣使這些雜質(zhì)燃燒，大多數(shù)天生二氧化碳和水蒸氣，可以排放到大氣中。而當(dāng)吸附進(jìn)行一段時(shí)間后，因?yàn)楸砻嫖劫|(zhì)的濃集，使其吸附能力顯著下降而吸附凈化的要求，此時(shí)需要采用一定的措施使吸附劑上已吸附的吸附質(zhì)脫附，以協(xié)的吸附能力，這個(gè)過程稱為吸附劑的再生。解吸出的VOCs氣體經(jīng)由冷凝器、氣液分離器后以較純的VOCs氣體離開汽提塔，被回收利用。